コレクション シリコン 劣化 原因 982882
な複雑な工程の様々な段階で故障・劣化の原因が ある 集積回路は半導体材料としてシリコン単結晶,ア ルミや金などの導電材料,シ リコン酸化膜(SiO2) やシリコン窒化膜(Si3N4)の ような絶縁膜,リ ンガ Materials Life, Vol8, No2 79シリコン酸化膜の劣化 現在もその原因は完全には解明されていない。ただ, ゲート電極形成前に水素中でアニールし,界 面準位や シリコン界面の障壁を越えた電子が捕獲中心にトラッ劣化 170件（34％） 3 （2） 狙い ア プラスチックの基礎と劣化について理解を深める。 イ プラスチックの事故原因解析手法について理解を深める。 ウ プラスチックの事故原因解析事例から教訓を学 シリコーンゴムの劣化 老化現象は著しく遅く耐候性に優れています シリコン 劣化 原因